039章 制程工艺！(4/4)

    “徐工，你看这几颗芯片内部的金属栅极形状都是不正常，这个是造成芯片功能不正常的主要原因。”杨杰对徐少秋说道。

    “你说这个问题出现在蚀刻还是离子注入上面？”

    “蚀刻工序出现问题的话金属栅极不会是这个形状，问题还是出现在了离子注入机上面。”杨杰说道：“我看了另外几颗芯片的的问题，发现芯片在在退火的时候温度太高了，这些铝线电路有烧化的情况。”

    “铝的熔点太低了，看来还是你之前提出用铜来代替才是正确的办法。”徐工点头道。